光譜共焦傳感器可以實(shí)現(xiàn)單側(cè)厚度測量。也就是說從一側(cè)測量透明物體的厚度。緣于其光譜成分換算成距離的原理，不僅可以測厚，還可以測多層材料各層厚度。當(dāng)然前提是材料透明。如果是非透明體，就需要上下安裝兩支對射測厚了。

　　

　　光譜共焦傳感器產(chǎn)品*性能：

　　

　　1.產(chǎn)品原理：全新的光譜共焦原理，可測量距離和厚度；

　　

　　2.任何材質(zhì)和表面：包括鏡面、玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體、高光金屬等表面均可進(jìn)行納米級測量；

　　

　　3.超高精度測量：zui小線性度可達(dá)0.03μm，zui高分辨率為0.3nm；

　　

　　4.光譜共焦傳感器從100μm-42mm的可選量程；

　　

　　5.超高采樣頻率：2K-60KHz，用于生產(chǎn)線，替代人工并提高合格率；

　　

　　6.測量范圍極廣，幾乎*，解決激光三角法測量無法回避的因表面材質(zhì)變化或傾斜而導(dǎo)致測量誤差等問題，zui大可測傾角87度；

　　

　　7.可進(jìn)行透明工件（LCD、LCM、手機(jī)攝像頭等）多層厚度的測量，zui小可測量厚度為400nm；

　　

　　8.可用于實(shí)驗(yàn)室的2D輪廓測量、3D微觀形貌分析、表面粗糙度測量，到工業(yè)在線檢測、自動化控制等。